書名: 掌握微機電 (2版)
作者: 楊龍杰
版次: 2
ISBN: 9786269729135
出版社: 滄海
出版日期: 2023/09
重量: 0.79 Kg
#工程
#電子與電機
定價: 580
售價: 539
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簡介 1.本書訂正「掌握微機電」初版前十三章內容之錯誤,更新2007-2022年間之微機電新知於第十四章,並特別強調CMOS MEMS代工,與現地多重感測器監控之微機電特色。 2.基於科普推廣之緣由,各章安排之範例,重在介紹國內外微機電學者之研究貢獻,並陳明微小科技背後之物理觀念。內容中偶然出現之數學處理手法,係提供大四生與研究生進階學習之用。 3.本書另備各章投影片、教學影片與教師手冊,作為教學與自修之參考。 目錄 Chapter1 微機電科技簡介 Chapter2 半導體製程與設備 Chapter3 矽質微細加工 Chapter4 金氧半微機電技術 Chapter5 高深寬比微加工技術 Chapter6 高分子微機電技術 Chapter7 微感測器技術 Chapter8 微制動器技術 Chapter9 光學微機電系統技術 Chapter10 生醫微機電技術 Chapter11 微流體元件技術 Chapter12 微型飛行器 Chapter13 微機電之封裝與測試技術 Chapter14 微機電系統技術的補充與展望

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