【簡介】 微機電系統是基於整合微電子電路(IC)與機械、光學、生化、高頻、流體等跨領域的系統技術(SoC)，其可能包含致動器、感測器、訊號處理電路等諸多功能於一體，而成為智慧元件(Intelligent Device)。隨著奈米及生醫技術逐漸成為今日科技焦點，微機電元件扮演了強勁推手的角色，我們也期待其能創造如半導體IC產業般的龐大商機。 本書可作為大學部高年級生，研究所學生教科書，對於相關產業界有興趣的工程人員作為參考材料也相當適合。除了對基本微電子技術有所介紹，在體型微加工、面型微加工、立體微影等微機電元件標準製作技術也有相當深入的最新技術討論。特別是作者以 IDT 元件為例，詳盡說明聲波元件的各種理論、效應、量測與微感測器的製作及應用等，最後加入電子電路的高度整合，可以發展成智慧型微機電系統，其中扮演關鍵角色的即是所謂微系統元件。特別在如本書作者專精的生醫應用領域，如人工鼻等，搭配高分子材料的微機電技術發展已被證明是最適合的基礎元件。譯者相當看好生醫及高頻等跨領域技術整合的未來發展，本書無疑是通往此路的最佳領航員，希望大家好好研讀「微機電元件」一書 【目錄】 第1章 導論 第2章 電子材料與製程 第3章 MEMS材料和它們的製備 第4章 標準微電子技術 第5章 矽微加工：體型 第6章 矽微加工：面型 第7章 MEMS的微立體微影 第8章 微感測器 第9章 SAW元件導論 第10章 固體中的表面聲波 第11章 IDT微感測器參數量測 第12章 IDT微感測器製作 第13章 IDT微感測器 第14章 MEMS-IDT微感測器 第15章 聰明感測器和微機電系統