半導體製造技術 (1版)

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【中文翻譯書】 書名 ：半導體製造技術 原文書名：Semiconductor Manufacturing Technology 原文作者：Michael Quirk 中文譯者：羅文雄 初版日期：2016 出版社：滄海 ISBN：9789867727701 本書特色 　 ●對於半導體製造技術從晶圓準備、次微米製程及封裝測試方面 　皆做完整詳盡的介紹。 ●最淺顯易懂的字詞揭示出原文書之精湛內容。 ●對大專在學學生及實際線上工程師而言，皆是一本優良的課程 　教材及技術入門手冊。 校閱者簡介 劉文超 學歷 國立成功大學電機工程研究所博士 現職 國立成功大學電機工程系教授 國立成功大學微電子研究所教授 許渭州 學歷 國立成功大學電機工程研究所博士 現職 國立成功大學電機工程系微電子所所長 國立成功大學電機工程系教授 國立成功大學微電子研究所教授 譯者簡介 羅文雄 學歷 國立成功大學電機工程研究所博士 現職 國立臺灣海洋大學電機工程系教授 蔡榮輝 學歷 國立成功大學電機工程研究所博士 現職 國立高雄師範大學物理系副教授 鄭岫盈 學歷 國立成功大學電機工程研究所博士 現職 亞東技術學院電機工程系助理教授 本書目錄 　 第1章 半導體工業簡介 第2章 半導體材料特性 第3章 元件技術 第4章 矽與晶圓準備 第5章 半導體製造之化學特性 第6章 半導體製造廠之污染控制 第7章 量測與缺陷 第8章 製程反應室之氣體控制 第9章 IC製造概述 第10章 氧化 第11章 沈積 第12章 金屬化 第13章 微影：氣相塗底至軟烤 第14章 微影：對準與曝光 第15章 微影：光阻顯影與先進雕像 第16章 蝕刻 第17章 離子植入 第18章 化學機械平坦化 第19章 晶圓測試 第20章 裝配與封裝 附錄A 化學品及其安全性 附錄B 無塵室中的污染控制 附錄C 單位 附錄D 以氧化物厚度為函數的顏色 附錄E 光阻化學品概論 附錄F 蝕刻化學品

矽晶圓半導體材料技術(第七版)(精裝本)7/e (7版)

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矽晶圓半導體材料技術 ISBN13：9786263284104 出版社：全華圖書 作者：林明獻 裝訂：軟精 規格：26cm*19cm*3cm (高/寬/厚) 版次：7 出版日：2023/03/01 中文圖書分類：電子工程 內容簡介 由於矽晶圓材料是半導體工業的基礎，因此從事半導體領域之學術研究與工程人員，都必須深入的瞭解矽晶圓的基本性質與製造過程。 因此本書內容上採深入淺出的方式敘述，除了介紹矽晶圓工業的歷史演進與產業現況之外，尚包含了以下單元：矽晶的基本性質、多晶矽的製造技術、單晶生長、矽晶缺陷、矽晶之加工成型、性質檢測等單元。 作者將本書的重點放在矽晶圓製造流程的介紹上。適用於晶圓半導體材料技術有興趣之讀者及相關從業人員。 本書特色 1.本書為國內第一本介紹矽晶圓材料的專業參考書籍。 2.詳細介紹矽晶的基本性質，矽晶圓材料的製造流程、矽晶圓缺陷控制以及矽晶圓性質檢測等單元，是一本從事半導體領域之學術研究與工程人員必備的專業書籍。   目錄 CH1 緒論 CH2 矽晶的性質 2-1 結晶性質 2-2 半導體物理與矽晶的電性 2-3 矽的光學性質 2-4 矽的熱性質 2-5 矽的機械性質 CH3 多晶矽原料的生產技術 3-1 塊狀多晶矽製造技術-西門子方法 3-2 塊狀多晶矽製造技術-AsiMi方法 3-3 粒狀多晶矽製造技術 CH4 單晶生長 4-1 單晶生長理論 4-2 CZ矽晶生長法(Czochralski Pulling) 4-3 MCZ矽單晶生長法 4-4 CCZ矽單晶生長法 4-5 FZ矽單晶生長法 CH5 矽晶圓缺陷 5-1 CZ矽晶的點缺陷與微缺陷 5-2 氧析出物(Oxygen Precipitation) 5-3 OISF(Oxidation Induced Stacking Faults) CH6 矽晶圓之加工成型 6-1 切斷(Cropping) 6-2 外徑磨削(OD Grinding) 6-3 方位指定加工─平邊V-型槽(Flat & Notch Grinding) 6-4 切片(Slicing) 6-5 圓邊(Edge Rounding) 6-6 研磨(Lapping) 6-7 雙盤研磨(Double Disk Grinding, DDG) 6-8 蝕刻(Etching) 6-9 拋光(Polishing) 6-10 清洗(Cleaning) 6-11 矽晶圓的背面處理 CH7 矽磊晶生長技術 7-1 CVD 基本原理 7-2 矽磊晶的生長 7-3 矽磊晶的性質 CH8 矽晶圓性質之檢驗 8-1 PN 判定 8-2 電阻量測 8-3 結晶軸方向檢定 8-4 氧濃度的測定 8-5 Lifetime量測技術 8-6 晶圓缺陷檢驗與超微量分析技術 8-7 晶圓表面微粒之量測 8-8 金屬雜質之量測 8-9 平坦度之量測 CH9 矽晶圓在半導體上的應用 9-1 記憶體(Memory) 9-2 邏輯積體電路(Logic IC) 9-3 功率半導體元件(Power Semiconductor Device) 附錄A 晶格幾何學 附錄B 基本常數 附錄C 矽的基本性質 附錄D 矽晶圓材料及半導體工業常用名詞之解釋 附錄E 矽晶圓片的重要規格參數

半導體元件物理-觀念解析與實務應用 2版 (2版)

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【簡介】 本書內容可以作為一學期或一學年兩學期之半導體元件物理的課程教材使用，也非常適合作為半導體相關工程師自我充實成長或公司內部教育訓練的教材。內容之編寫抱持書名副標題「觀念解析與實務應用」的理念，強調觀念與實務兼顧，因此盡量避免深奧的物理與繁瑣的數學，但對於重要的觀念與技術都會清楚的解釋，並盡可能以共通的基本原理原則，貫通前後章節的知識概念，使讀者輕易掌握其中條理脈絡，以內化成自己紮實的知識。因此，對於讀者欲研讀更高階的半導體元件物理知識，可以本書的內容為基礎再進一步研讀相關的課題，會是很好的切入點。 　　相較於坊間其他相關的半導體元件物理書籍，本書的特色至少包括： 涵蓋並詳細說明現代產業界先進元件技術之相關元件物理觀念。包括高介電係數介電層 (high-k dielectrics)、應變矽 (strained-Si)、鰭式電晶體 (Fin-FET) 等先進元件技術。 以直觀的「物理現象」與「電機概念」，用淺顯易懂的方式清楚闡釋深奧的元件物理觀念與在實務上相關的重要應用。 各章節中對於基礎、重要的內容，屬於讀者必須瞭解的觀念或公式，均提供作者特別設計之經典題型的「範例」，其包含促進讀者有效學習的「解答」與觀念釐清的「評論」。 各章節中對於容易混淆的觀念或公式，均提供作者精心整理設計的「圖表」與解說，讓讀者不需特別耗費時間死背公式或結果，而能吸收內化成為自己的知識，歷久不忘。 各章節中基礎、重要的內容，均依文本順序附有足夠的對應「習題」。習題主要選取自近二十年國家考試與研究所入學考試之經典題型，然對於未出現於前述之重要題型 ( 包含實務應用題 )，作者均設計補足。 【目錄】 1 導　論 2 半導體材料與晶體結構 3 半導體能帶觀念 4 熱平衡時的半導體能帶與載子濃度 5 導電載子的傳輸 6 非平衡狀態時的過量載子 7 PN接面 8 PN接面二極體 9 理想MOS結構 10 實際MOS元件 11 MOSFET元件 附錄A 物理常數 附錄B 轉換因數 附錄C 溫度300 K時常用之Si、Ge與GaAs的性質 附錄D 溫度300 K時常用之SiO2與Si3N4的性質 附錄E Si、Ge與GaAs常用性質隨絕對溫度 (T ) 變化關係 中英文索引

半導體科技ㄧ點都不難：有趣實驗帶你認識生活中的半導體 (1版)

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【簡介】 │誠摯推薦│ 前台積電共同營運長、鴻海集團半導體策略長　蔣尚義 前國科會科教處處長、國立彰化師範大學榮譽教授　郭重吉 元智大學電機系助理教授　陳念波 本書以電晶體為主軸，搭配半導體科技與科學實驗設計，經緯交織，建起通往現今世界的知識橋樑。書中所介紹的實驗，涵蓋了電晶體最重要的特性，完整的讓大家對半導體由淺入深地系統學習。 1948年提出的接面電晶體理論，成為半導體物理的經典，指導了往後70多年半導體元件和積體電路技術的發展，也改變了人類的生活文明。 人工製作的半導體元件能夠在電子產品中扮演那麼關鍵性的角色，主要是因為幾個重要的特性：可以控制單向電流；電晶體可以當成自動開關、大倍數地放大信號；它還有光電能轉換的特性，做出發光二極體（LED）和太陽能電池。 半導體大大地改變了人類的生活，難道不是我們的造化嗎？ 【目錄】 第一章　半導體科技史 第一節　電子的發現 第二節　真空管電子時代 第三節　半導體電子時代—簡介半導體 第四節　半導體電子時代的科學史 第五節　臺灣的半導體產業沿革 第二章　直流、交流與整流 第一節　檢視直流電、交流電和整流的定義 第二節　簡介二極體 第三節　直流電、交流電和整流的實驗測試 第四節　二極體的橋式整流 第五節　吹風機中的橋式整流 第三章　由LED探索色光的分散與疊加 第一節　會變色的LED小夜燈 第二節　一顆三色疊加的七彩LED燈珠 第三節　嘗試設計一盞我們自己的LED神燈 第四節　簡介LED發光二極體 第四章　用偏光片體驗偏振光 第一節　偏光立體眼鏡 第二節　偏光片與偏振光 第三節　偏光片的多元驗證實驗 第四節　設計兩種膠帶偏光玩具 第五節　偏光片與偏振光的生活科技 第五章　順藤摸瓜　一探液晶顯示器 第一節　生活中的液晶顯示器 第二節　液晶顯示器裡的基本構造與功能 第三節　液晶顯示器的畫素單位 第四節　螢幕顯示器的演變 第五節　初探液晶顯示器的學習歷程 第六章　電晶體 第一節　由真空管說起 第二節　發現半導體p-n接面二極體 第三節　點觸式電晶體 第四節　雙極接面電晶體 第五節　金氧半場效電晶體 第六節　晶圓 第七節　「先進封裝」CoWoS的技術與AI 第七章　電晶體實驗 第一節　動手實作分析電晶體的電路 第二節　從實驗探究電晶體的功能 第三節　由「聲音」檢視電晶體可放大訊號 第四節　「後設認知」的理論與實踐 第八章　新一代的人工照明—LED燈 第一節　LED手電筒 第二節　出口指示燈 第三節　LED的照明 第九章　光控夜燈—光敏電阻應用實例 第一節　由光控小夜燈說起 第二節　探索電路中的光敏電阻與電晶體 第三節　再探電路中的光敏電阻與電晶體 第四節　工程警示燈 第十章　電磁爐與溫控風扇—熱敏電阻的應用實例 第一節　簡介 第二節　電磁爐 第三節　用溫控風扇模型探索半導體電路 第十一章　簡易電子樂器初探 第一節　石墨可以導電 第二節　電子樂器的靈魂　電晶體和IC 第三節　電子樂器的電磁喇叭和麥克風 第十二章　紅外線感應偵測器 第一節　屋內玄關天花板上的感應器 第二節　紅外線電風扇與光電半導體 第三節　健康的守護者　自動酒精噴霧器 第十三章　光電煙霧偵測器 第一節　光電煙霧偵測器的內部構造 第二節　光電煙霧偵測器的光電耦合 第三節　一般住宅用光電式火災煙霧偵測器 第十四章　太陽能電池 第一節　試用太陽能電池 第二節　太陽能電池的基本科學原理 第三節　太陽能電池與四季的日升日落 第四節　深入探索「太陽追蹤器實體模型」 第五節　學習心得、願景與後續活動 第十五章　電感升壓電路中的電晶體 第一節　電磁感應線圈中的電感器 第二節　「焦耳小偷電路」與電晶體 第三節　焦耳小偷電路的DIY 第十六章　電蚊拍與半導體 第一節　由電蚊拍簡探一般的變壓器 第二節　電蚊拍裡的電晶體當了電子開關 第三節　焦耳小偷電路的升級版在電蚊拍裡 第十七章　踢躂舞公仔中的半導體 第一節　手機充電器的回收再利用 第二節　踢躂舞公仔的結構和電路分析 第十八章　石英鐘與積體電路 第一節　分析時鐘的鐘面 第二節　探索石英鐘裡的馬達 第三節　石英鐘裡的電流和電路 第四節　積體電路與石英晶體 第五節　壓電和反壓電實驗 第六節　石英鐘裡的齒輪組 後記—我與半導體的奇妙緣份