書名: VLSI製造技術
作者: 莊達人
ISBN: 9789864123735
出版社: 高立
重量: 1.30 Kg
#工程
#電子與電機
#電子材料/元件與製造技術
定價: 850
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VLSI製造技術 6版 作(編/譯)者 : 莊達人 出版年份 : 2021 ISBN : 9789864123735 類別 : 半導體 書號 : 1019 幾色 : 1 規格 : 18 發行公司 : 高立 版權日期 : 2021/04/01 版次 : 六版九刷 頁數 : 1040 目錄 第 1 章 導 論 第一篇 元件物理 第 2 章 半導體材料 第 3 章 元 件 第 4 章 應用元件 第二篇 單元製程 第 5 章 薄膜沉積 I ── 物理氣相沉積 第 6 章 薄膜沉積 II ── 化學氣相沉積 第 7 章 微 影 第 8 章 蝕 刻 第 9 章 摻 雜 第10章 氧化與熱處理 第11章 先進單元製程 ── CMP 第三篇 製程整合 第12章 MOS 製程 第13章 隔離製程 第14章 多重內連線製程 I ── 平坦化 第15章 多重內連線製程 II ── 金屬化 第16章 先進整合技術 I ── 電晶體 第17章 先進整合技術 II ──多重內連線 第四篇 製程設備 第18章 氣體輸送系統 第19章 真空系統 第20章 設備整合 附錄 A 電 漿 附錄 B DRAM 附錄 C Schrodinger 方程式與自由電子模型 附錄 D C-V 量測 附錄 E 半導體製程材料的安全性數據 (MSDS) 附錄 F 主要常數及矽和二氧化矽的物化特性

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